螺杆泵—螺杆分子泵机组

干式泵串联分子泵后抽速更大，真空度更高，适用于各类对抽速或真空度要求极高的环境。

当干式泵抽到10Pa以下时，再启动分子真空泵，可获得极高的真空度。广泛用于：真空实验室等特殊无油高真空度环境。

用干式真空泵做前级泵，对被抽环境无污染，不返油，维护周期长，且能维持常期稳定的极限压力。