真空感应炉中冶炼Ni基、Fe基高温合金所要求的真空度一般在0.133Pa (10-3Torr)的数量级。真空系统由三级组成: 油喷射增压泵——罗茨真空泵——机械真空泵。而作为前级泵所用的多数为滑阀式机械真空泵。这种型号的泵有结构紧凑, 占地面积小,安装方便的优点。