螺杆泵—螺杆分子泵机组
干式泵串联分子泵后抽速更大,真空度更高,适用于各类对抽速或真空度要求极高的环境。
当干式泵抽到10Pa以下时,再启动分子真空泵,可获得极高的真空度。广泛用于:真空实验室等特殊无油高真空度环境。
用干式真空泵做前级泵,对被抽环境无污染,不返油,维护周期长,且能维持常期稳定的极限压力。