宽压力范围覆盖:可实现从 “大气压” 到 “10⁻⁴Pa” 的全区间抽气,无需更换多台设备,适配多种工艺需求;
抽速与真空度兼顾:中真空阶段(1~10³Pa)依赖罗茨泵的高抽速缩短时间,高真空阶段依赖螺杆泵的低极限真空满足精度,解决了 “单一泵抽速快则真空度低,真空度高则抽速慢” 的矛盾;
洁净无油:螺杆泵为无油设计,罗茨泵通常也采用无油密封(如唇形密封、磁力密封),避免油蒸气污染真空系统,适配半导体、镀膜、制药等对 “洁净真空” 要求高的场景;
稳定性强,维护成本低:螺杆泵对粉尘、少量可凝气的耐受性优于旋片泵,罗茨泵结构简单、易维护,二者组合后故障率低于传统机组,适合长期连续运行。